“行不行,刻出来才知道!” 我的声音带着不容置疑的力量。我将图纸交给老周,“周师傅,按这个图,把线路走向,按比例,精确地刻在这块玻璃板上!要绝对的精确!一丝都不能差!” 这块玻璃板,将作为“原始掩模”。
老周接过图纸,布满老茧的手微微颤抖。他没有问任何问题,只是用力点了点头。这个沉默寡言的老电工,此刻仿佛接过了千斤重担。他把自己关进了“芯巢”最安静的角落,桌上铺着那块玻璃板,旁边放着放大镜、金刚石刻针和游标卡尺。昏黄的灯光下,他佝偻着背,布满老年斑的手稳如磐石,刻针在玻璃表面划过,发出细微到几乎听不见的“沙沙”声。每一道刻痕,都凝聚着千钧的专注和毕生的技艺。
几天后,一块布满极其纤细、却清晰无比线路纹路的玻璃“掩模”,摆在了超净工作台上。
真正的炼狱开始了。
我戴上头戴式高倍放大镜(镜片是从医院报废的显微镜上拆下来的),深吸一口气,拿起那块空白的硅晶圆片,固定在特制的夹具上。右手,稳稳地捏住了那根磨得极其尖细的钨钢针。
灯光聚焦在针尖一点。放大镜下,硅晶圆光滑的表面如同无垠的旷野。我的精神高度集中,仿佛整个世界只剩下眼前的这一点。手腕悬空,屏住呼吸,以超越极限的稳定和精准,将针尖轻轻点在硅晶圆表面预定好的“起点”上。
一丝微不可察的阻力传来。手腕极其细微地移动、下压。一条比头发丝还要细数十倍、肉眼几乎无法分辨的刻痕,在超高硬度的钨钢针下,艰难地在硅晶圆表面诞生了!不能抖!不能断!深度必须均匀!路径必须绝对精确地吻合玻璃掩模上的线路!
汗水瞬间浸透了后背。手臂的肌肉因为高度紧张而微微痉挛,旧伤的刺痛如同针扎。每一秒,都是对意志和体力的极限压榨!每一毫米的刻痕,都如同在刀尖上跳舞!
刘工和老周带着徒弟们,屏息凝神地围在周围,大气不敢出,眼神里充满了紧张和敬畏。看着那在放大镜下缓慢移动的针尖,看着晶圆表面那渐渐延伸的、如同蛛丝般纤细的刻线,他们仿佛在见证一个神迹的诞生!
时间失去了意义。眼睛酸痛到流泪,手臂麻木到失去知觉。唯有精神如同绷紧的弓弦。一块晶圆,刻废了。再来一块!又刻废了!再来!
失败!失败!还是失败!材料报废的损失让李卫国心痛得滴血。但每一次失败,都积累了宝贵的经验。下压力的控制,移动速度的把握,路径的修正……
第七块晶圆。当最后一根刻线艰难地连接到预定的终点时,我如同虚脱般松开手,钨钢针“叮当”一声掉在工作台上。眼前阵阵发黑,汗水早已浸透衣衫,顺着下巴滴落。
“成了?” 刘工声音干涩,带着难以置信的颤抖。
“刻完了。后面看你们的了。” 我的声音沙哑得几乎听不见。
接下来是刘工的战场。光刻胶涂布(用最简陋的毛刷手工涂覆)、掩模对准(用显微镜和微调螺杆进行地狱级难度的对准)、紫外曝光(用改装的高强度紫外灯管)、化学显影、湿法刻蚀(在简易通风橱里用危险化学品操作)……每一步都充满风险,每一步都如同在悬崖边行走。
失败!失败!失败!刺鼻的化学药剂气味弥漫在狭小的“芯巢”。腐蚀过度的晶圆、线路粘连的废片、显影不全的瑕疵品……堆满了角落的废料桶。每一次失败,都消耗着宝贵的材料、时间和所剩无几的信心。压抑和绝望的气氛如同沉重的铅块,压在每个人的心头。刘工的头发以肉眼可见的速度变得灰白,厚厚的镜片后面是布满血丝的眼睛。
“放弃吧,陈总…” 在一次刻蚀液再次将晶圆腐蚀得面目全非后,刘工终于崩溃了,他瘫坐在椅子上,声音带着哭腔,“不可能的…手工刻的掩模精度不够…对准太难了…化学品控制不了…我们做不到的…”
老周也沉默着,布满皱纹的脸上刻满了疲惫和失落。
李卫国和王强站在门口,看着里面的一片狼藉和死寂,心沉到了谷底。巨大的投入,无数个日夜的煎熬,难道真要付诸东流?
我站在超净工作台前,看着最新一块报废的晶圆。腐蚀液在上面留下了丑陋的疤痕,几条关键的线路被蚀断了。手臂的旧伤在化学药剂的刺激下隐隐作痛。失败的苦涩如同毒药在口腔里蔓延。
放弃?前世天台坠落的冰冷绝望感再次袭来。不!绝不!
我猛地抬起头,布满血丝的眼睛里,燃烧着近乎疯狂的火焰!那火焰烧尽了疲惫和绝望,只剩下孤注一掷的决绝!
“精度不够?那就用最笨的办法!” 我的声音嘶哑却如同惊雷,炸响在死寂的“芯巢”,“刘工!重新调整刻蚀液的浓度和温度!老周!把你的游标卡尺给我!卫国!再去搞五块晶圆来!王强!把所有的灯都打开!亮如白昼!”
“对准难?那就一次只对准一个区域!一个晶体管!一个电阻!一个电容!一点一点地啃!一块晶圆不够就十块!一百块!直到啃出来为止