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第1142章 最精密的学问(1/2)

    文化部后院。

    一间不对外开放的会客室。

    窗外是几竿翠竹,屋里只有两杯清茶。

    钱院士坐在红木圈椅里,腰杆挺得笔直。

    他看着对面的张红旗。

    “那份报告,我看过了。”

    老头声音不高,每个字都砸在桌上。

    “写得很好,很有远见。”

    “但是。”

    老头话锋一转。

    “光有远见,没用。”

    “半导体,光子学,这是硬骨头,是天底下最精密的学问。”

    “不是靠钱,靠想象力,就能搞出来的。”

    他盯着张红旗的眼睛,一字一顿地问。

    “你,一个拍电影的。”

    “懂这些吗?”

    这个问题,很尖锐。

    甚至有点不留情面。

    张红旗没接话。

    他从随身的公文包里,拿出一张纸。

    一张折叠起来的A3大小的绘图纸。

    纸张边缘已经有些毛糙。

    张红旗把纸,在桌上摊开。

    推到钱院士面前。

    那是一张手绘的草图。

    用铅笔画的线条清晰,标注密集。

    钱院士低头看去。

    只一眼,他的目光就定住了。

    图上画的是一个极其复杂的机器结构。

    分成了四个核心模块。

    张红旗的手指,在图上轻轻点过。

    “光源。”

    “物镜系统。”

    “掩膜台。”

    “硅片台。”

    钱院士的呼吸,停了一下。

    他当然认得出来这是什么。

    这是光刻机的核心架构。

    但让他心惊的不是这个架构图本身。

    而是图上那些密密麻麻的手写的标注。

    全是英文和德文的缩写,夹杂着公式和参数。

    “光源:Lpp-EUV,功率要求大于250w,能量转换效率大于5%。”

    “物镜:13片非球面反射镜,材料,ULE玻璃,表面粗糙度小于0.1纳米。”

    “掩膜台:磁悬浮,同步运动精度小于2纳米。”

    钱院士的眼睛,越瞪越大。

    这些参数,每一个,都像一颗子弹。

    精准地打在他几十年的科研认知上。

    国内现在连dUV都还在理论摸索阶段。

    这张图,直接跳到了EUV。

    而且,给出的指标,比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据,还要激进,还要精确。

    这根本不是一份方案。

    这是一份来自未来的施工图纸。

    钱院士的手,下意识地伸过去。

    想要抚摸那张图纸。

    手指,却在半空中停住了。

    有点抖。

    他的视线,落在了图纸的一个角落。

    那里画着一个反射镜组的截面图。

    旁边有一行小字。

    “mo/Si多层膜反射镜,每层厚度3-4纳米,总层数大于80层。”

    老头感觉自己的后脑勺,被人用锤子狠狠砸了一下。

    多层反射镜。

    这个概念,只在国际最顶级的几个光学实验室里,有过最模糊的设想。

    连篇正式的论文都没有。

    可这张图上,不仅有。

    连材料,厚度,层数,都写得清清楚楚。

    就像画图的人,亲手做出来过一样。

    还没等他从震惊中缓过来。

    他又看到了光源部分的另一条标注。

    “等离子体激发高能光子。”

    钱院士靠在椅背上。

    半天没喘过气来。

    他彻底明白了。

    之前看的那份报告,还有那份吓人的实验室建设方案。

    背后,都有这张图的影子。

    这不是外行人的异想天开。

    这是内行到了极致,高到了云端之后的俯瞰。

    “这些东西……”

    老头的声音,有些干涩。

    “你是从哪里弄来的?”

    张红旗把图纸重新折好,收回包里。

    “钱老,来源不重要。”

    “重要的是,这条路,是对的。”

    “未来十五到二十年,全世界的光刻机,都会往这条路上走。”

    “我们现在起步,不晚。”

    钱院士沉默了。

    他看着张红旗。

    这个年轻人的脸上,没有半点吹嘘和浮夸。

    平静得就像在说一件已经发生过的事。

    他心里那个最大的疑团,解开了。

    这个年轻人,不是在买名
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