‘芯片产业的皇冠明珠’，目前全球只有荷兰的ASML公司能够生产7纳米及以下先进制程的EUV光刻机，而ASML公司的EUV光刻机，不仅价格高达1.5亿美元一台，而且还受到美国的技术限制，无法向我国出口。我国虽然已经能够生产用于28纳米及以上制程的DUV光刻机，但在技术性能上，与ASML的DUV光刻机还有很大差距，更不用说EUV光刻机了。”

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