尼古拉拍拍他的肩膀:“你们做的非常好。”
10月9日,尼古拉来到此次考察的最后一站——位于伯力的北极星光学设备有限公司。这是俄国最接近阿斯麦水平的光刻机研发企业,cEo胡争明是尼古拉亲自招募的人才。
“欢迎来到俄国的ASmL,老板!”胡争明用流利的俄语问候,带领尼古拉进入超净实验室。一台巨大的机器占据中央位置,外表与阿斯麦的EUV光刻机相似,但细节不同。
“这是我们的首台EUV原型机,“胡争明介绍,“使用从阿斯麦获取的部分数据,结合尼康和佳能的技术,我们实现了20纳米工艺能力。但良品率只有35%,远低于阿斯麦的95%。”
尼古拉仔细检查机器内部:“光源稳定性?”
胡争明坦诚,“最大问题,cymer的激光等离子体光源技术我们只有理论,没有实物。我们自制的光源功率波动达15%,而阿斯麦控制在2%以内。”
(本书内容纯属架空历史,不要过分解读,如有雷同纯属巧合。)